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最新消息| 半導體集成電路潔凈室無塵室原理及日常維護介紹! | 2023-10-17 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=tp5a1Fx7vcRueYOIe1Tu8V3bLLzzRpS7XzbsjyGVfPXeK6q9VRr4EuT2QbWNsOQRvMSWyqnOam09sQx0N5-B3WIrBWvPKCJrmCh_JvYYopK" 芯片有著很強動力和潛力，隨著國內的半導體產業的發展，對芯片需求不斷增多，LED半導體線路板芯片制備到器件封裝，對生產環境空氣品質都有較高的要求，空氣品質關系著成品率和產品品質。很多「半導體工業」以及「生技產業」都需要用到無潔凈室。今天【科準測控】小編就來詳細介紹一下半導體集成電路潔凈室無塵室的原理還有標準是什麼？以及日常維護事項，一起往下看吧！nn半導體集成電路潔凈室nn半導體潔凈室原理：nn『潔凈室』又稱為「無塵室」，是將一定空間范圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內，而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。nn半導體潔凈室的應用：nn潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中，尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求最高，因為現今的晶圓已經都發展到奈米級的水準，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導致這個晶圓必須報廢。nn無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。nn而負壓無塵室一般應用在有毒實驗室、病理實驗室或傳染病病房，目的是為了避免實驗室或病房中有任何有毒氣體或傳染病菌不小心傳播到大氣環境中，所以負壓就是為了讓室外的空氣會往室內吹，然后藉由過濾網將可能受污染的空氣過濾，以免讓不相干的大眾受到感染。nn半導體潔凈室原理：nn『潔凈室』又稱為「無塵室」，是將一定空間范圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內，而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。nn半導體潔凈室的應用：nn潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中，尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求最高，因為現今的晶圓已經都發展到奈米級的水準，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導致這個晶圓必須報廢。nn無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之 關鍵字標籤：無塵室設備規劃 |
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